精磨和研磨等工藝。

①精車和精鏜：飛行器大多數(shù)精密的輕合金（鋁或鎂合金等）零件多采用這種方法加工。一般用天然單晶金剛石刀具,刀刃圓弧半徑小于0.1微米。在高精度車床上加工可獲得1微米的精度和平均高度差小于0.2微米的表面不平度,坐標精度可達±2微米。

②精銑：用于加工形狀復雜的鋁或鈹合金結構件。依靠機床的導軌和主軸的精度來獲得較高的相互位置精度。使用經(jīng)仔細研磨的金剛石刀頭進行高速銑切可獲得精確的鏡面。

③精磨：用于加工軸或孔類零件。這類零件多數(shù)采用淬硬鋼，有很高的硬度。大多數(shù)高精度磨床主軸采用靜壓或動壓液體軸承，以保證高穩(wěn)定度。磨削的極限精度除受機床主軸和床身剛度的影響外，還與砂輪的選擇和平衡、工件中心孔的加工精度等因素有關。精磨可獲得 1微米的尺寸精度和0.5微米的不圓度。

④研磨:利用配合件互研的原理對被加工表面上不規(guī)則的凸起部位進行選擇加工。磨粒直徑、切削力和切削熱均可精確控制，因而是精密加工技術中獲得最高精度的加工方法。飛行器的精密伺服部件中的液壓或氣動配合件、動壓陀螺馬達的軸承零件都采用這種方法加工,以達到0.1甚至0.01微米的精度和0.005微米的微觀不平度。